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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵ALCATEL 5011分子泵維修

一臺高真空泵和一臺低真空泵難于組成有效的高真空機組，這有幾方面的原因。流量的連續性就是其中之一。高真空泵都有前級耐壓的限制，即前級高于某一壓力，泵就不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵維修 ，而當前級泵達到這一臨界壓力時(shí)，往往抽速會(huì )減小，這樣前級泵的排氣流量可能會(huì )小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續性的要求，必然會(huì )引起真空機組不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵維修

轉子的油膜冷卻:這種冷卻方法是在羅茨真空泵入口處連接一個(gè)輸油管，用均勻滴下的冷卻油帶走轉子的熱量。油經(jīng)過(guò)濾器器、冷卻器，通過(guò)密封良好的油泵，再經(jīng)過(guò)辦輸油管將油送到泵的入口。油滴到轉子上之后，隨著(zhù)轉子的旋轉而均面在轉了子的表面上。ALCATEL 5011分子泵維修

這不僅將轉子的熱量帶走，同時(shí)在兩個(gè)轉子表面上形成油膜，防止氣體的逆流，而且還能將轉子表面上依附的微細塵埃帶走。在泵的出口處設有油槽，收集廢油，經(jīng)過(guò)過(guò)濾，冷卻后重新循環(huán)使用。此種方法效果良好。ALCATEL 5011分子泵維修 ，但由于泵內有油，失去了羅茨泵無(wú)油蒸汽污染真空系統的特點(diǎn)。再則油具有一定的粘度，對高速旋轉的羅茨泵轉子增加了不少的摩擦力，當然使泵的功率消耗增加。ALCATEL 5011分子泵維修

所使用的油，要求飽和蒸汽壓應盡量代。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵 分子泵升級改造

分子泵是高速旋轉的機械，軸承故障可能會(huì )造成泵葉片打碎直接報廢；而當軸承工作狀態(tài)不良時(shí)，會(huì )有一系列的現象，如分子泵無(wú)法啟動(dòng)，運行噪音增大，溫度或功率異常增加等，在排除外界環(huán)境和進(jìn)排氣壓力過(guò)高等外界因素后，應盡快停泵，送到維修中心進(jìn)行檢修。

當活塞到達上部頂端時(shí)，關(guān)閉進(jìn)氣閥，同時(shí)打開(kāi)排氣閥，使膨脹機與低壓端相通，氣體膨脹制冷，活塞向下移動(dòng)把冷量貯存在活塞內的蓄冷器中。如此多次循環(huán)，便在一、二級冷頭處分別獲得低于80K和20K的低溫和所需的制冷功率，并使氣體在低溫面上凝結，在活性炭上吸附而被抽除。

前級泵對于充分發(fā)揮渦輪分子泵的性能非常重要。安捷倫的真空產(chǎn)品選型手冊為各個(gè)渦輪分子泵型號匹配的前級泵提供了具體建議，采用推薦的前級泵可以為渦輪分子泵提供合適的前級壓力。有的型號推薦了多款前級泵，用戶(hù)可以根據具體的工藝進(jìn)行選擇：腔體很大、需要頻繁粗抽，工作壓力較高或者氣載比較大的應用，選擇抽速較大的前級泵；反之選擇抽速較小的前級泵。

廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵 分子泵升級改造

廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵 進(jìn)口真空泵維修

 泵殼內注有循環(huán)水，在抽真空時(shí)，葉輪旋轉，在離心力的作用下，泵殼內的循環(huán)水被甩至葉輪四周，在泵殼內壁形成一個(gè)旋轉水環(huán)。又因葉輪是偏心安裝在泵殼內的，因此水環(huán)與牙狀葉片之間形成的空間大小不同。進(jìn)口真空泵維修

飛輪變形或螺桿磨損

長(cháng)期使用后，泵內部機械部件可能出現變形或損壞，從而影響泵的效率和性能。如飛輪變形或螺桿磨損，會(huì )導致泵的振動(dòng)、噪音和效率下降，此時(shí)需要拆除故障部件并更換新的零部件。進(jìn)口真空泵維修

真空泵的工作壓力應該滿(mǎn)足工藝工作壓力要求，選型時(shí)真空度要高于真空設備真空度的半個(gè)到一個(gè)數量級。(如：真空工藝要求100Pa的真空度，選用真空泵的真空度至少要50Pa-10Pa)。一般如果要求jue對壓強高于3300Pa，則優(yōu)先選擇水環(huán)式真空泵作為真空裝置，如果jue對壓強要求低于3300Pa，則不能選擇水環(huán)式真空泵，選擇旋片式真空泵或更高真空級別的真空泵作為真空獲得裝置。

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